佛山市佳以特冷热从高精度、可靠性、节能性入手;研发生产出具有自主知识产权(国家专利号：ZL.6)的高精度空调、高精度恒温恒湿洁净空调，提供稳定的温度T±0.08℃（T=18-25℃），湿度RH±1％(RH=45-60%)的高精度空调;高精度冷水机组和温度T±0.1℃(T=10-25℃)；超高精度空调产品、超高精度冷水机组及其系统的整体解决方案。

　　佛山市佳以特冷热开发了先进人工智能模糊控制系统；高精度冷、热源平衡控制系统、高精度恒温加湿系统，空气洁净过滤系统HEPA，均取得国家专利保护。具有控制精度高，正常情况下能在设置温度±0.1℃内的变化；从开机到温度平衡稳定运行时间短；对空调进风温度变化要求低(进风±2℃/H的情况下出风口温度能控制在±0.1℃/H内)，利用专利热回收技术，对温度进行调控，相比采用电加热可控硅控制普通高精度空调耗电极底，确保高精度空调长期可靠稳定运行，机身采用304镜面不锈钢机壳满足对室内高级别洁净度的需求。

　　佳以特高精度恒温恒湿空调应用于光学传感器制造与测试环境，金属纳米级加工环境；高精密测量；半导体光刻机，LDI曝光、涂布等工艺环节；也可以用于：涂胶显影机，电子束曝光；液晶等离子面板制造等各个行业领域，佳以特冷热为客户量身定制，OEM服务。

　　详细资料请联系：；王先生

　　1、光刻机专用空调机

　　2、涂胶显影专用空调机

　　3、LDI曝光机专用空调机

　　测试结果：温湿度控制曲线照片：

　　备注：绿色线为监控曲线，红色线为出风温度曲线

　　备注：绿色线为监控曲线，红色线为出风温度曲线

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