能够用来制造湿度传感器的吸湿物质必须满足湿度-电阻（或电容）特性可逆这一基本条件，同时应当具有良好的重复性。利用这些物质制成的湿敏元件，配上适当的电路便构成相应的湿度测量仪表，人们通常把基于测量吸湿物质的电阻或电容变化的湿度计称为湿度传感器，主要有氯化锂湿度传感器、氧化铝湿度传感器、碳和陶瓷湿度传感器，以及利用高聚物膜和各种无机化合物晶体，如铌酸锂、硫化镉、氯化钠等制作的电阻式湿度传感器等。下面对各种湿度传感器进行简单的介绍。
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